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六維壓電納米位移台 ║P685S

産品參數
運動軸 X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程 500μm±5mrad
分辨率 2.5nm0.05μrad
外形尺寸 175x175x35mm
中空尺寸 75x75mm
結構類型 機構放大式並聯結構

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六維壓電納米位移台 ║P685S是采用壓電陶瓷驅動的六維並聯式壓電陶瓷定位平台,六維壓電納米位移台內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電陶瓷平台內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電平台具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅爲毫秒量級。壓電陶瓷定位平台內部采用並聯式結構設計 , 結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動台面上,可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構,並聯結構有著更輕的質量,更低的慣量和更高的動態性。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的適用于顯微及掃描系統中。


典型應用:掃描顯微鏡(SPM) • 幹涉 • 計量 • 掩模/晶圓定位 • 度量衡學 • 生物技術 • 顯微光學 • 激光技術 • 微操作等。

六維壓電納米台運動軸示意圖


◆ 外形尺寸:175x175x35mm,中空尺寸:75x75mm;

行程爲500μm±5mrad,分辨率爲2.5nm0.05μrad;

◆ 采用無摩擦、無空回柔性鉸鏈並聯導向系統,具有超高的導向精度;

◆ 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;

內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

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六維壓電納米位移台 ║P685S

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