462

壓電偏擺台 ║P520TS

産品參數
運動軸 θX,θY
行程 2mrad
分辨率 0.01μrad
外形尺寸 130x130x18mm
中空尺寸 80x80mm
結構類型 機構放大式差分結構

  • 産品詳情
  • 技術結構
  • 相關産品
  • 留言反饋
  • 量身定制

壓電偏擺台 ║P520TS是采用壓電陶瓷驅動的納米級精密定位壓電位移台,壓電偏擺台內部使用無回差柔性鉸鏈並聯導向結構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,差分並聯結構柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電位移台內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電偏擺台具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅爲毫秒量級。中空式超薄設計,且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統中。


典型應用:快速反射鏡系統(FSM)作爲發射光源與接收端之間控制光束傳播方向的精密光學儀器,集光、機、電技術于一身,內置的精密壓電偏擺台作爲核心部件發揮著重要的作用,憑借其高精度、高分辨率、快速響應等優點,已被廣泛應用于天文望遠鏡、激光通訊、自適應光學、複合軸精密跟蹤等領域。

◆ 外形尺寸:130x130x18mm,中空尺寸:80x80mm

◆ 行程爲2mrad,分辨率爲0.01μrad;

◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分並聯結構柔性導向系統具有超高的導向精度;

◆ 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

多軸偏擺系統運動學


研生公司的壓電偏擺系統基于所有運動軸在單一移動平台並聯運動。該系統可實現比兩個單軸串聯系統具有更高的線性度,且這種並聯結構外形尺寸更加緊湊。壓電偏擺鏡和壓電偏擺平台適用于高度動態操作,例如追蹤、掃描、圖像穩定、消除漂移和振動;同時也適用于光學系統和標本的靜態定位。研生的壓電偏擺系列産品可使光束偏轉至120mrad(甚至更大偏轉角)、幾微秒的極短響應時間和可達納弧度範圍的分辨率。研生提供多種大範圍偏轉角的緊湊型激光束偏轉控制系統。


差動壓電陶瓷驅動的偏擺系統(四腳支架)

平台由一對彼此呈90°角的壓電陶瓷致動器控制。四個致動器根據偏擺方向兩兩單獨控制。由于偏擺軸θX和θY成正交設置,因此無需坐標系變換。這種差分式結構的設計優點爲在較大溫度變化範圍內保持完美的位置/角度穩定性。每個運動軸配置兩個傳感器,確保偏擺位置的穩定性,並提供了更好的線性度和分辨率。

具有差動壓電驅動的傾斜系統的原理



壓電偏擺鏡動力學

壓電偏擺系統的最大工作頻率取決于它的機械諧振頻率。

爲了估計系統的有效諧振頻率,需計算出反射鏡的轉動慣量。

  

圓形反射鏡的轉動慣量計算公式如下:


矩形反射鏡的轉動慣量計算公式如下:


反射鏡重量 [g]

IM 反射鏡的轉動慣量 [g × mm²]

偏轉軸正交的反射長度 [mm]

反射鏡厚度 [mm]

到反射鏡表面的距離 (參見各型號 >> 産品技術參數) [mm]

反射鏡徑 [mm]


帶載反射鏡的偏擺系統的諧振頻率

根據已知的空載偏擺系統的諧振頻率及轉動慣量(參見 >> 産品技術參數)和計算得出的反射鏡轉動慣量,可通過如下公式計算得出整個偏擺系統的諧振頻率。

 

帶載反射鏡的偏擺系統的諧振頻率計算公式如下:


f' 反射鏡的偏擺系統的振諧頻率 [Hz]

f0 空載偏擺系統的振諧頻率 [Hz]

I0 空載偏擺系統的轉動慣量 (參見 >> 産品技術參數) [g × mm²]

IM 反射鏡轉動慣量 [g × mm²]

反射鏡重量 [g]

專業知識與技術

  • 研生首創,國際技術領先:獨特的超高精度全並聯式柔性鉸鏈導向系統

    突出優勢:研生首創,國際技術領先:獨特的超高精度全並聯式柔性鉸鏈導向系統。研生科技設計開發的並聯式柔性鉸鏈導向結構技術已成功轉化爲系列化産品,並廣泛應用于各相關應用領域……

    10-10
  • 多軸偏擺系統運動學:壓電偏擺鏡動力學

    研生公司的壓電偏擺系列産品可使光束偏轉至120mrad(甚至更大),該系統基于所有運動軸在單一移動平台並聯運動,可實現比兩個單軸串聯系統具有更高的線性度,且這種並聯結構外形尺寸更加緊湊。壓電偏擺鏡和壓電偏擺平台適用于高度動態操作,例如追蹤、掃描、圖像穩定、消除漂移和振動,同時也適用于光學系統和標本的靜態定位等……

    10-30
  • 多軸偏擺系統運動學:三腳壓電陶瓷驅動的偏擺系統(三腳支架)

    三腳壓電陶瓷驅動的偏擺系統(三腳支架)由三個彼此呈120°角的壓電陶瓷致動器控制。通過坐標變換,三支致動器配合調節實現偏運動。除了偏擺運動,平台也可以線性用于Z軸運動。例如,用于校正光路長度(移相器)……

    10-28
  • 多軸偏擺系統運動學:帶載反射鏡的偏擺系統的諧振頻率

    帶載反射鏡的偏擺系統的諧振頻率,根據已知的空載偏擺系統的諧振頻率及轉動慣量(參見  産品技術參數)和計算得出的反射鏡轉動慣量,可通過公式計算得出整個偏擺系統的諧振頻率……

    10-24

Piezo•Nano•Positioning

壓電偏擺台 ║P520TS

分享到: 0