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三維壓電平移台 ║P100

産品參數
運動軸 X,Y,Z
行程 40μm
分辨率 0.2nm
外形尺寸 25x25x25mm
結構類型 機構放大式串聯結構

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三維壓電平移台 ║P100是采用壓電陶瓷驅動的三維納米級壓電陶瓷平移台,壓電平移台內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。壓電陶瓷平移台具有極佳的運動控制精度,分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅爲毫秒量級。壓電陶瓷平移台爲無磁材質,使用過程中不産生磁場同時也不受磁場的影響。壓電平移台特點體積小、結構緊湊、易于集成。

◆ 外形尺寸:25x25x25mm

◆ 行程爲40µm,分辨率爲0.2nm;

◆ 采用無摩擦柔性導向系統設計具有超高的導向精度;

◆ 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性。

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三維壓電平移台 ║P100

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